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石英振梁加速度計
石英振梁加速度計

石英振梁加速度計

外形尺寸:7.5 x 1.5mm

體積≤12x12x4mm³

帶寬>800Hz

量程±30g

高精度

高穩定性

基於石英振梁諧振原理,適用於慣性導航、地震檢測等高精度場合

產品特點

  • 高穩定性
    高穩定性
  • 高精度
    高精度

產品尺寸

產品尺寸

電性能參數

技術指標石英振梁加速度計
體積≤12x12x4mm³
帶寬>800Hz
量程±30g
動態電阻(MΩ)≤1.2
動態電感(KH)≤1.2
動態電容(fF)≤2.0
靜態電容(pF)≤1.5
串聯諧振頻率(kHz)34.5~35.5
Q值2200~2600
串聯諧振相位()≥-15


電極絕緣電阻:

采用絕緣電阻儀測量兩電極間的絕緣電阻,要求絕緣電阻(50V,>1TΩ)


芯片材料:

芯片的基材:Z 切石英晶片;

石英晶片的晶向:(zyw)0°,切角公差:±5’;

Q 值:300 萬以上(A 級);

包裹體密度:Ia 級 無籽晶;

隧道密度:小於 10 條/cm(1 級);

石英晶片為雙麵拋光,無亮點、麻點等缺陷;

電極薄膜的材料:Cr/Au 雙層薄膜,純度:99.99%,其中底層 Cr 膜的厚度

為(30±5)nm,頂層 Au 

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